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熱門關鍵詞: 氣相沉積爐中頻熔煉爐焙燒爐實驗型石墨化爐燒結爐

紅亞電熱設備

化學氣相沉積石墨化一體爐

主要特點 :硬質合金材料高溫燒結;電池負極材料高溫處理:石墨粉高溫處理;碳纖維碳化、石墨化處理:觸頭材料、精密陶瓷、高溫元件高溫燒結:粉末冶金材料、碳化鎢等產品的高溫燒結;產品在N2保護氣氛下經預熱區、高溫區、冷卻區,完成產品的燒成

適用行業 :新材料方面、軍工,航空、機械加工、冶金,粉末冶金、化工、工業用瓷等

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氣相沉積爐
用途
本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。
特點
采用多功能高溫設計,可實現化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
使用溫度高達2600,并可長時間穩定可靠運行。
采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統,可實現全溫度段的顯示和控制。
采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統,使得設備節能省電,諧波分量小,對外部設備無干擾。
進出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產品的穩定性。
采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
特制的過濾系統,對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理;
技術參數
氣相沉積爐技術參數

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